アメリカの産業部品メーカーEvans Components Inc.は、1992年CFOS向け高純度ボールバルブを初めて半導体向けに納入。その後、CFOS用一体型フックアップスティックをはじめ、CFOS/PCW用ラテラル、PCWS/R一体型フックアップスティック等超高純度システムを半導体製造向けに多数導入してきた実績があります。近年はデータセンター液冷却システムでも注目されています。

特徴

● 全数ヘリウムリークテスト済み
● 超高純度対応の品質管理
  ・クラス10・100レベルのクリーンルーム工場設備
● 高密度・省スペースに対応した統合設計
  ・オービタル溶接によるマニホールド製造
  ・溶接シーム数が少ない設計
● 北米、アジア、日本、欧州で多くの実績

ボールバルブ

①BA(SS316L)/SG(SS304L)シリーズ
-CFOSグレード対応



②30、80、90シリーズ
(ミニボールバルブ)
-小型ながら高流量を確保



③SNシリーズ
(316Lサニタリーバルブ)
-高純度用途向けに設計
-無菌ラインや化学薬品ラインに対応



④PWシリーズアッセンブリー
(304SSボールバブ)
-高耐久性のステンレス製ボールバルブ
-高流量・高圧環境に対応
-冷却水やガス供給ラインに最適



⑤PW/HBシリーズ



・その他(真空、耐火仕様など)

ガススティック

PCWスティック

ラテラルマニホールド


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